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以微機電技術製作應用於面射型雷射結構之繞射光學元件

本研究計畫中直接購得VCSEL 原始晶片，再至成大電機所進行二次成長，將DOE 層成長於購得VCSEL 原始晶片上，在本系光電中心進行微影製程步驟。為簡化製程， ...

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