1.2 微機電製程技術簡介[37] 雖然早在1959 年費曼博士就提出微型機器的概念,但真正 ... 步驟一:晶圓清洗525um 步驟二:微影步驟三:RIE蝕刻步驟四:成長二氧化矽1μm ...
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