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Lab3 金屬電極剝離法實驗 - 國立高雄科技大學

(1) 利用丙酮及異丙醇將矽晶片清潔. 乾淨，接著在矽晶片上塗佈光阻，. 將塗佈完之wafer放置加熱板上做. 軟烤動作。 (2) 利用微影製程，將所曝光的圖案，. 使用顯影劑顯影 ...

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