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整合馬達與平面四連桿組之微機電傳動系統研製Development of ...

本研究目的為開發一微機電傳動系統,結合馬達轉子與平 ... 機構與利用微機電製程技術製作,以高分子材料製作翼 ... 隙,以使下一步之微影步驟對下層光阻結構不產生影.

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