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微機電製程步驟
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朝陽科技大學資訊工程系碩士論文
本論文實驗透過國家晶片設計中心(CIC)下線完成,以台積電(TSMC)標. 準CMOS 製程技術,製作後端Switch 電路與放大電路,並整合微機電製程. 技術製作感測 ...
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