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奈米液滴壓電致動產生器—製程、組裝與測試之研究

MEMS 製造次微米級噴嘴孔以及噴墨頭腔體流. 道；CMOS MEMS 製程作出潛 ... 是由於以微機電製程方式製作微小孔洞不穩定 ... 同製程步驟所要得到電鑄鎳結構有所不同，此.

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