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結構模擬/聲學模擬COMSOL微機電模組 - 皮托科技

MEMS 模組隨附的案例庫具有詳細的教程，以及靜電驅動的MEMS 諧振器模型的建模步驟說明。此外，您還可以選擇使用機電介面來添加各向同性電致伸縮的作用。

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