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應用於中醫脈診之電容式壓力感測器的微結構探討

CMOS-MEMS 共用製程元件設計準則，以利日後微生醫元件(BioMEMS)之發 ... 第二步驟：使用微機電模擬軟體IntelliSuite 之IntelliFab 建立符合實際製程.

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