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MEMS製程日新月異感應器巧扮創新火車頭 - 新通訊

採用MEMS技術的加速度感應器，是在形成電子線路的晶片表面側邊形成感應器元件。 感應器元件係由多結晶矽作成，其製程步驟如下：首先，在形成鋁配線之前， ...

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