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CMOS-MEMS電容式加速度計之設計與製作

MEMS製程 無法制式化，對於不同的元件，考量到結構、功能等因素，需設計不同的製程，因此在製作上具有步驟繁複、成本較高等問題，相對MEMS製程，半導體製程技術發展 ...

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