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微機電系統製程平台及應用

到了1992 Pister 提出. 微絞鏈(micro hinge)的設計[5]，使得面型微機械元件在製程完成後，得以抬高或者. 立於矽晶片表面，以克服運動空間受限於薄膜厚度的問題。在證實面型 ...

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