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北美智權報第93期：相位移光罩技術與半導體微影製程

半導體微影製程的原理是在晶片上覆蓋一層感光材料，使來自光源的平行光經過光罩，打在感光材料上，光罩上的圖案將反射入射光，而透過光罩的光束就具備與光 ...

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