為什麼這篇微影製程ptt鄉民發文收入到精華區：因為在微影製程ptt這個討論話題中，有許多相關的文章在討論，這篇最有參考價值！作者J781019 (端)看板Engineer標題[問題] 光微影製程實驗問題時間Mon Jan 2...
微影製程ptt 在 一輪??♀️??♀️??♀️??♀️⛰ Instagram 的最讚貼文
2021-09-17 14:51:20
關於保養收到不少私訊 為什麼不怕曬? 平時怎麼保養? 輪輪很少分享 也沒接這方面的合作 對保養品的合作非常謹慎 我有習慣的保養品 敢說這些東西使用五年起跳 想推薦給你們我真心喜歡跟熟悉的 但闆娘很低調沒開放管道讓大家買 這些產品走專業通路 大家不易取得 所以也是幫忙籌備了好一陣子 才準備好跟你們分...
請問這邊有黃光製程工程師嗎
光阻塗布在玻璃基板上
曝光顯影硬烤完
只有在四個角落觀察到清楚的線路
其他地方感覺都被一層霧霧的東西覆蓋住了
試著調整製程都改善不了
請問可能是什麼問題呢？
https://i.imgur.com/9N2qdSG.jpg
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→ wzmildf: 是不是光阻peeling了？ 01/29 01:57
→ wzmildf: 看你右下方整個圖形都不見了，周邊的pattern也都糊掉了 01/29 01:58
推 kurll: defect問題吧 02/04 11:27
→ stargold: 資訊太少了吧...你是用spinner上光阻？膜厚range有沒有 02/09 00:33
→ stargold: 過大？有沒有上HMDS?塗佈及顯影過程中有沒有退潮？玻璃 02/09 00:33
→ stargold: 基板底層反射有沒有考慮？霧霧的有沒有用高倍率下去看是 02/09 00:33
→ stargold: 否有許多細小孔洞？顯影是用手還是超音波震盪？顯影劑濃 02/09 00:33
→ stargold: 度？ 02/09 00:33
→ johnrunroad: 你的mask髒了吧？ 03/12 14:07
推 jonaswang01: 回覆都是老工程師了.... 03/14 22:36