為什麼這篇微影製程工程師ptt鄉民發文收入到精華區：因為在微影製程工程師ptt這個討論話題中，有許多相關的文章在討論，這篇最有參考價值！作者J781019 (端)看板Engineer標題[問題] 光微影製程實驗問題時間Mon Jan 2...
微影製程工程師ptt 在 PanSci 泛科學 Instagram 的最佳解答
2020-11-02 10:19:57
#科基百科 所謂砷化鎵呢，是由鎵和砷兩種元素所合成的化合物，分子式為「GaAs」。 這種化合物是種很常見的半導體材料，會被用來製作微波積體電路、紅外線發光二極體、半導體雷射器和太陽電池等等元件。 _ 咦？半導體材料？那不是矽 (Si)、鍺 (Ge) 等等元素嗎？ 嘿嘿，除了元素之外，化合物也...
請問這邊有黃光製程工程師嗎
光阻塗布在玻璃基板上
曝光顯影硬烤完
只有在四個角落觀察到清楚的線路
其他地方感覺都被一層霧霧的東西覆蓋住了
試著調整製程都改善不了
請問可能是什麼問題呢？
https://i.imgur.com/9N2qdSG.jpg
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→ wzmildf: 是不是光阻peeling了？ 01/29 01:57
→ wzmildf: 看你右下方整個圖形都不見了，周邊的pattern也都糊掉了 01/29 01:58
推 kurll: defect問題吧 02/04 11:27
→ stargold: 資訊太少了吧...你是用spinner上光阻？膜厚range有沒有 02/09 00:33
→ stargold: 過大？有沒有上HMDS?塗佈及顯影過程中有沒有退潮？玻璃 02/09 00:33
→ stargold: 基板底層反射有沒有考慮？霧霧的有沒有用高倍率下去看是 02/09 00:33
→ stargold: 否有許多細小孔洞？顯影是用手還是超音波震盪？顯影劑濃 02/09 00:33
→ stargold: 度？ 02/09 00:33
→ johnrunroad: 你的mask髒了吧？ 03/12 14:07
推 jonaswang01: 回覆都是老工程師了.... 03/14 22:36