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台積微影製程 - 阿摩線上測驗

(A) 半導體製造的主要流程為：薄膜製作 微影 蝕刻 摻雜 (B) 微影是將元件的幾何圖案利用光罩傳遞到矽晶圓基板上 (C) 微影製程曝光所用的光線為黃光，所以需在黃光室 ...

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