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CN1379441A - 减少微影制程旁瓣的方法- Google Patents

一种改善微影制程旁瓣产生的方法,其包括下列步骤:于半导体基底上形成光阻层;以相移式光罩对此光阻层进行曝光,将光罩上的图形转移至光阻上;之后,对曝光后的光阻层进行后 ...

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