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微系統製程技術發展 - 台灣儀器科技研究中心

精儀中心之奈米技術製程實驗室如圖1 所示，. 內含紫外光微影系統、準分子雷射加工系統、感應. 耦合電漿離子蝕刻系統、精密熱印壓模系統，以及. 精密電鑄系統等，並於民國九 ...

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