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深次微米矽製程技術 - 第 42 頁 - Google 圖書結果

表 1.8 業界認為光罩技術順位順位技術 1 2 3 4 5 光學近接修正( OPC ) 5 3 |相移式光罩( PSM ) 1 5 2 2 光罩規格 3 2 1 2 光罩微影 3 新阻劑 4 1 缺陷檢查 3 2 光罩 ...

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