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微影

➢經由光罩上的圖案，將使光源的入射光發生反射，未. 被反射而透過光罩的光束具備和光罩相同的圖案，稱. 為曝光。 ◇微影基本製程. ➢光阻覆蓋. ➢曝光. ➢顯影 ...

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