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微影製程缺陷
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微影蝕刻製程(Photo Etching)
微影 蝕刻製程(Photo Etching). 微影蝕刻為一種轉印圖案於基材上的製程. 優點. • 高精度• 低缺陷. 應用. • 光學應用 • 微投影 • 光罩.
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