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KLA發布全新缺陷檢測與檢視產品組合 - 工商時報

設備大廠KLA發布392x和295x光學缺陷檢測系統和eDR7380電子束缺陷檢視系統。這些全新的檢測系統是KLA ... 該系統能夠對脆弱的EUV微影製程層進行檢視。

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