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微影製程缺陷
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股后漢微科千億嫁荷商公平會准了 - Taiwan News
公平會指出,ASML的半導體微影設備,與漢微科半導體缺陷檢測設備,運用於晶圓不同製程階段,不具產品替代可能性,因此本案屬多角化結合。
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