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科磊行銷長：光學晶圓缺陷檢測仍是主流- 產業特刊

科磊行銷長Brian Trafas表示，由半導體主流製程的微縮轉換趨勢來看， ... 微影等技術將是未來主流，在製程持續微縮的此刻，晶圓缺陷檢測的難度更高， ...

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