微影製程 的缺陷辨識. Hsu 等(2010). TFT-LCD. 陣列製程造成缺陷影響良率提昇的. 根本原因. Tseng 等(2011). LCD 彩色濾光膜. 彩色濾光膜製程缺陷樣型的缺陷萃.
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