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微影- 維基百科，自由的百科全書

微影製程 （英語：photolithography）是半導體元件製造製程中的一個重要步驟，該步驟 ... 這會使光阻表面在表面張力作用下圓滑化，並使光阻層中的缺陷（如針孔）減少， ...

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