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Process Watch：良率管理走向環保之路 - YMS Magazine

影工程師就可以採取多項糾正措施。除了將微影單元受影響的晶圓返回重工以外，工程師還可以. 將微影單元停止生產，以解決導致對良率至關重要的橋接缺陷的潛在製程問題。

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