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EUV應用於TFT-LCD濕蝕刻製程的金屬殘留缺陷改善之研究

W.; Spelt J. K., ”Applied Surface Thermodynamics”, Marcel Dekker, New York, 1996. [22] 吳文獻，「奈米球微影術於奈米製程技術之應用與發展」，國立成功大學光電科學 ...

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