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從微影製程的原理，當負型光阻曝光能量越小，顯影後光阻厚度越小(即顯影後光阻損失 ... 速率，減少晶片邊緣圖形焦距失焦的異常缺陷、增加晶片邊緣曝光shot的完整性。

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