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光學微影的新限制

量產可行性, 成本與缺陷是微影製程與特徵這兩項主要元件的最重要標準。成本的控制有著一定的難度，因為它與微影品質的其它標準如CD控制有關連。雖然購買超平坦的晶圓或 ...

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