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台積電5奈米試產順利，傳良率追上7奈米

所謂缺陷密度，指的是製程中非預期因素，例如刮痕、光阻覆蓋不全等，對晶片品質產生 ... 尤其，在EUV(極紫外光)微影技術問世後，技術層級又更為複雜， ...

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