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4.1 厚膜光阻製程

本製程之第一道製程，成功製作完成之微結構，如圖4-10 所示。 圖4-11 為製程中微反射鏡易發生之缺陷。 ... 將完成微影製程之微光開關，經ICP-RIE 進行結構釋放，完成加.

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