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KLA-TENCOR為高亮度LED 製造推出CANDELA

諸如細微擦傷和細微裂紋等基片缺陷，它們會造成epi 製程缺陷，並直接影響LED. 的良率和可靠性. • 圖形化藍寶石的微影與蝕刻製程產生的缺陷來源，例如缺少凸起和光阻 ...

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