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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

積體電路及液晶顯示器微製程 ... 原缺陷(COP)為10至100奈米空洞 ... 國家奈米元件實驗室. 微影製程要素. 1.光源. 2.光罩. 3.光阻及塗佈顯影系統. 4.曝光系統. 微影技術 ...

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