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微影製程缺陷
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產品資訊
在半導體晶圓的生產中,光罩檢查裝置是微影製程前檢查光罩缺陷的設備。隨著光罩微距(CD) 越做越小,除了製程開發越來越複雜外,光罩檢測也越來越難,缺陷之大小、形態 ...
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