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北美智權報第141期：半導體產業2015：技術趨勢和驅動力

為了製造先進的3D FinFET和NAND元件，晶片的製程複雜度隨著每個技術節點 ... 首先對記憶體以及邏輯線路而言，以複式曝光技術來延展微影能力是製程上的 ...

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