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微影是什麼製程
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跨入16奈米世代一步到位 - 科學人雜誌
國家奈米元件實驗室研發的創新技術,讓整個微影製程縮減為只需一個步驟就 ... 微影是一種利用光罩、光阻以及特定波長的光源,將設計好的圖樣「轉印」 ...
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