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半導體製程技術 - 聯合大學

大部分的負光阻是聚異戊二烯(polyisoprene). ▫ 光阻曝光後變成交連聚合體 ... 在先進的IC生產工廠中最流行的微影製程工具 ... 微影製程是可以重做的.

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