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微影製程 - 國立高雄科技大學第一校區

而以光阻作為阻擋層所蝕刻出的. 薄膜結構，因為底切(undercut). 的緣故，會產生蝕刻偏差，尤其. 是等向性蝕刻如二氧化矽。 NKFUST. 38. MEMS Lab. 微影後的微加工.

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