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義守大學工業工程與管理學系

隨著製程技術的進步，對於關鍵尺寸的要求是越來越精密，在微影的整個製造過程. 中有許多的因素影響著關鍵尺寸的變化，包含軟烤溫度、軟烤時間、曝光能量和顯影時. 間等等都 ...

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