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微影是什麼製程
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軟性光罩微影技術| 聲光電暨奈微米結構實驗室 - 首頁
軟性光罩微影製程是以黃光微影製程技術的概念結合奈米壓印的特點(包括:大面積、可撓性的䩞附、一次性的曝光製程、小線寬等優點)而延伸出的另一項新技術,此技術克服 ...
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