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ASML - 3⃣微影(Lithography) 微影是製程中最重要的一環

微影是製程 中最重要的一環，決定了晶圓上電晶體能夠微縮的程度。在這個製程中，晶圓被送入微影設備裡(就是我們的各種機台啦✌)，並在深紫外光(DUV)或極紫外光(EUV)的曝光下 ...

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