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極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術 - 能源資訊平台

而半導體製程中的微影技術可說是整個半導體工業相當關鍵的製程，因. 為目前花費在微影 ... 限，傳統技術已無法繼續微縮晶片，此時極紫外光(EUV)微影機就在眾多技術下.

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