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產業脈動｜半導體製程重中之重- 微影技術的突破與創新

摘要：微影製程的目的是為了在晶圓上製作圖樣，隨著電晶體密度更高，結構更細緻、更複雜，使得曝光、光罩和相對應的量檢測設備更加重要。

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