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IC 縮小術！林本堅院士談光學微影如何把IC 愈變愈小 - 科技新報

k1：係數，與製程有關，縮小半週距的關鍵，是所有半導體工程師致力縮小的目標。 λ：微影製程的光源波長，從一開始436 奈米降到13.5 奈米。 sinθ：與鏡頭聚 ...

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