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微元件ic應用
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传感器原理与应用技术 - Google 圖書結果
MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域,几乎涉及自然及工程科学的所有 ...
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