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微製程概論(IC 及TFT/LCD)

RCA清洗法為美商RCA公司所發展之矽晶圓清洗技術，於. 1965年應用於RCA元件製作上，並於1970年發表其清洗過. 程。RCA清洗方法為二段步驟：濕式氧化及錯合反應。 RCA清洗法 ...

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