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定性 定量 半定量
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穿透式電子顯微鏡及能量散布分析儀 - 交通大學材料系
TEM:材料試片之微細組織,晶體結構之缺陷觀察,擇區繞射定結晶結構。 EDS:原子序大於B的元素定性與半定量分析。 EELS:輕元素定性與半定量分析,能量過濾影像。
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