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〈研之有物〉IC縮小術！林本堅院士談光學微影如何把IC愈變愈小

「拍出」積體電路的奈米級成像技術：光學微影 ... 如今，到了單位數奈米的世代（例如7 奈米或5 奈米製程），這些數字已經逐漸演變為僅是世代的號誌。

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