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孔徑數自0.33 到0.7，一手掌握ASML EUV 發展布局| 科技新報

以典型的5 奈米製程技術為例，2021 年在邏輯晶片上的應用，是必須使用到10 ... 的可靠性，這數字接近先前深紫外光曝光（DUV）微影設備95% 的可靠度。

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