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前瞻半導體及量子技術研發計畫」 (核定本)

對於此計畫最重要之技術含量，在於符合半導體產業之材料及元件檢測需求，技術. 開發將包含奈米至Å 尺度的相關顯微 ... 2 電子束微影系統台灣半導體. 研究中心. 1. 30,000.

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